שיטת הכנה של תא שמש אמורפי סיליקון

קיימות שיטות רבות לתאים סולאריים מסוג סיליקון אמורפי, לרבות שקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה, קיזור תגובתי, פריקת זוהר, אידוי קרן אלקטרונים ופירוק תרמי של סילאן.
1. שיטת קיצוץ תגובתי: ראשית, השתמש בלייזר אינפרא אדום כדי לכתוב בלייזר את מצע הזכוכית המוליך TCO; לאחר סופר לייזר, לבצע ניקוי קולי; לאחר ניקוי המצע, הכניסו אותו למתקן שיקוע מיוחד ודחפו אותו לתנור לחימום מוקדם; חימום מראש המתקן שלאחר ההפקדה נדחף לתוך תא הוואקום של השקעת PECVD, והסיליקון האמורפי מופקד באמצעות תהליך השקעת PECVD; לאחר מכן הלייזר הירוק משמש לביצוע שרבוט לייזר שני על מצע הסיליקון האמורפי שהופקד, והניקוי מתבצע לאחר השרבוט; לאחר מכן המצע המנוקה מצופה בסרט מרוכב של אלקטרודה אחורית מתכת באמצעות טכנולוגיית PVD, ושכבת תחמוצת האבץ כאחד מהסרטים המרוכבים של האלקטרודה האחורית מתכת מופקדת על פני שכבת הסיליקון האמורפית, ושכבות אלקטרודה אחוריות ממתכת מופקדות על שכבת תחמוצת האבץ; לאחר מכן השתמש בלייזר הירוק כדי לבצע את שרבוט הלייזר השלישי על המצע עם האלקטרודה האחורית של המתכת שהופקדה, ונקה אותה לאחר השרבוט. עד כה נוצר מבנה שבב הסוללה; לאחר מכן, שבב הסוללה עובר למינציה וארוז, ותיבת החיבורים וחוטי ההובלה מותקנים. לבסוף, בצע בדיקות ביצועים על הרכיבים, וארוז מוצרים מתאימים לקופסאות. בהתאם לגודל ולמפרט של המודולים הפוטו-וולטאיים המיוצרים, מחזור הייצור לוקח בדרך כלל שלוש עד ארבע שעות.
2. שיטת השקעת אדים כימית משופרת בפלזמה: סדרה של תאי שקיעה משמשים ליצירת תוכנית רציפה בייצור להשגת ייצור המוני. יחד עם זאת, התא הסולארי הסיליקון האמורפי הוא דק מאוד וניתן להפוך אותו לסוג מוערם, או לייצר אותו בשיטת מעגל משולב. במטוס, עם תהליך מסכה מתאים, ניתן ליצור מספר תאים בסדרה בו-זמנית כדי להשיג מתח גבוה יותר.
3. שיטת פריקת זוהר: מיכל קוורץ פונה, ממלא סילאן מדולל במימן או ארגון, מחומם במקור כוח בתדר רדיו כדי ליינן את הסילאן ליצירת פלזמה, וסרט הסיליקון האמורפי מופקד על המצע המחומם העליון.