בניסויים של עקיפה של קרני X-(XRD), שימוש במצע רקע אפס- יכול להפחית משמעותית את ההפרעות מהמצע עצמו לאות עקיפה המדגם, וכתוצאה מכך לדפוסי עקיפה באיכות גבוהה יותר.בחירת כיוון קריסטלהוא אחד מגורמי הליבה להשגת ביצועי רקע אפס-.
עקרון ליבה
בחירת כיוון הגביש עבור מצעי רקע אפס- פועלת לפי עיקרון פשוט:מקם את שיא העקיפה העיקרי של מצע הסיליקון מחוץ לטווח הסריקה הנפוץ של 2θ של ניסויים, ובכך הימנע הפרעה לאות העקיפה מהמדגם עצמו.
טווח הסריקה של ניסויי XRD אבקה קונבנציונליים מרוכז בעיקר ב5 מעלות - 90 מעלות (2θ), לכן יש צורך לבחור כיוון גביש מיוחד כך שפסגת העקיפה האופיינית של סיליקון מופיעה מחוץ לטווח זה.
כיוונים מיוחדים בשימוש נפוץ
1. <510>הִתמַצְאוּת
- מאפייני עקיפה: שיא הדיפרקציה העיקרי של הסיליקון מופיע בזווית גבוהה יחסית של 2θ, החורגת מטווח הסריקה הנפוץ של ניסויי XRD קונבנציונליים. לכן, כמעט שום שיא עקיפה של מצע סיליקון לא יופיע בטווח של 5 מעלות -90 מעלות.
- יתרונות: ביצועי רקע אפס- מצוינים, נכון לעכשיו כיוון המצע האפס-הנפוץ ביותר בשימוש במחקר מדעי.
- יָשִׂימוּת: מומלץ לרוב ניסויי XRD קונבנציונליים, במיוחד XRD אבקת ובדיקות XRD -בזוית נמוכה.
2. <511>הִתמַצְאוּת
- מאפייני עקיפה: דומה ל<510>, שיא הדיפרקציה האופייני שלו ממוקם גם מחוץ לטווח הניסוי המקובל ולא יגרום להפרעה משמעותית לאות המדגם.
- יתרונות: מספק גם אפס-ביצועי רקע מצוינים.
- יָשִׂימוּת: עוד בחירה מיינסטרים, חלק מהחוקרים מעדיפים אוריינטציה זו על סמך תצורת המכשיר או הרגלי ניסוי.
מדוע אוריינטציות קונבנציונליות אינן מתאימות?
הכיוונים הנפוצים ביותר של פרוסות סיליקון בשוק הם<100>ו<111>, אבל הם אינם מתאימים למצעי רקע אפס-:
|
אוריינטציה קונבנציונלית |
שיא עקיפה ראשי (2θ) |
בְּעָיָה |
|
<100> |
שיא Si(400) ~69 מעלות |
נופל בדיוק בטווח הבדיקה הנפוץ, מייצר שיא מצע חזק שמפריע קשות לאות הדגימה |
|
<111> |
שיא Si(111) ~28 מעלות |
ממוקם במרכז טווח הבדיקות הקונבנציונלי, ההפרעות בולטות עוד יותר |
לכן, למרות שהכיוונים הקונבנציונליים זמינים בקלות, הם בהחלט לא מומלצים לניסויי XRD אפס-רקע.
מדריך לבחירת התמצאות
- בחר על סמך טווח הבדיקה: אם הניסוי שלך מתמקד בעיקר באזור הזווית-הנמוכה (קטנה-זווית XRD), שניהם<510>ו<511>יכול לענות על הביקוש, ולשניהם יש אפקטי רקע- טובים.
- בחר על סמך הרגל אישי: למעבדות שונות עשויות להיות הרגלי שימוש מסורתיים. שתי הכיוונים מקובלים באקדמיה, ואתה יכול לבחור לפי הניסיון שלך.
- התאמה אישית של אצווה קטנה: לא ניתן להשיג כיוונים מיוחדים ממלאי קונבנציונלי ודורשים חיתוך מותאם אישית. אנו תומכים בהתאמה אישית-קטנה של שניהם<510>ו<511>כיוונים, עם מינימום הזמנה של 5 חלקים.
טבלת סיכום
|
הִתמַצְאוּת |
אפס-ביצועי רקע |
זְמִינוּת |
הַמלָצָה |
|
<510> |
⭐⭐⭐⭐⭐ |
ניתן להתאמה אישית |
🌟🌟🌟🌟🌟 |
|
<511> |
⭐⭐⭐⭐⭐ |
ניתן להתאמה אישית |
🌟🌟🌟🌟 |
|
<100> |
❌ |
בִּמלַאִי |
❌ |
|
<111> |
❌ |
בִּמלַאִי |
❌ |
אודותינו
Ningbo Sibranch Microelectronics Technology Co., Ltd יכולה להתאים אישית ולספק<510>אוֹ<511>אוריינטציה XRD אפס-רקע מצע סיליקון פרוסות סיליקון בהתאם לדרישות המחקר. אנו תומכים בגדלים מיוחדים, עוביים ודרישות לטיפול פני השטח, ומקבלים הזמנות אצווה קטנות.
אֲתַר אִינטֶרנֶט: www.sibranch.com|https://www.sibranchwafer.com/
חשבון WeChat הרשמי: Sibranch Electronics
לשאלות התאמה אישית, אנא אל תהסס לפנות אלינו.
