היכן משתמשים ברפידות ליטוש פרוסות סיליקון?

פרוסות מלוטשות הן המוצר הנפוץ ביותר, ומוצרי פרוסות סיליקון אחרים מיוצרים בעיבוד משני על בסיס פרוסות מלוטשות.
פרוסות מלוטשות הן פרוסות הסיליקון הבסיסיות והנפוצות ביותר. פרוסות מלוטשות יכולות לשמש ישירות לייצור התקני מוליכים למחצה, בשימוש נרחב בשבבי זיכרון והתקני כוח, וניתן להשתמש בהם גם כחומרי מצע עבור פרוסות אפיטקסיות, פרוסות סיליקון SOI וסוגים אחרים של פרוסות סיליקון.
עם הכיווץ המתמשך של רוחב הקו האופייני של מעגלים משולבים והדיוק ההולך וגדל של הליטוגרפיה, חוסר האחידות הקטן ביותר על פרוסת הסיליקון יגרום לעיוות ולנקע של גרפיקת המעגל המשולב. טכנולוגיית ייצור פרוסות הסיליקון עומדת בפני דרישות ואתגרים גבוהים יותר ויותר. לגודל החלקיקים של פני השבב ולניקיון יש גם השפעה ישירה על התפוקה של מוצרי מוליכים למחצה.
לכן, תהליך הליטוש חשוב מאוד לשיפור השטיחות והניקיון של משטח פרוסות הסיליקון. העיקרון העיקרי הוא להשיג את המישור של משטח פרוסות הסיליקון המוליכים למחצה ולהפחית את החספוס על ידי הסרת שכבת הנזק השיורית על פני השטח המעובד.