מהו הקצה השטוח של פרוסת סיליקון?
שטוח יכול להיקרא גם קצה מיצוב.
פרוסות סיליקון בגודל 2, 4 ו-6- אינץ' אינן עגולות לחלוטין, אך יש להן פינה חסרה חתוכה. לאחר שליפת מטיל הסיליקון בשיטת CZ, לפני שהוא נחתך לפרוסות סיליקון, לאחר קביעת כיוון הגביש, ייחתך קצה שטוח אחד או יותר על המטיל עם מסור יהלום. לכן, לפרוסת הסיליקון יש קצוות מיקום 1-2, קצה המיקום הארוך נמצא בתחתית הפרוסה, וקצה המיקום הקצר אינו קבוע במקומו, משתנה עם כיוון הגביש וסוג הסם.
מה הקשר בין מיקום קצה המיקום לבין כיוון הגביש?
בדרך כלל ישנם שלושה סוגים של כיווני גביש עבור פרוסות סיליקון:<111> <110> <100>.
כאשר הזווית בין קצה המיקום הראשי לקצה המיקום המשני היא 45 מעלות, סוג פרוסות הסיליקון הוא מסוג n<111>; כאשר הזווית בין קצה המיקום הראשי לקצה המיקום המשני היא 90 מעלות, סוג פרוסות הסיליקון הוא מסוג p<100>; כאשר הזווית בין קצה המיקום הראשי לקצה המיקום המשני היא 180 מעלות, סוג פרוסות הסיליקון הוא מסוג n<100>. מאז<110>כיוון גביש אינו כיוון גביש פרוסות סיליקון מיינסטרים, אין תקן המייצג אותו. ה<110>כיוון הגביש יכול להיות מיוצג על פי הסטנדרטים של ספק פרוסות הסיליקון עצמו.
האם אורכי קצוות המיקום הראשוניים והמשניים קבועים?
כן, מכיוון שהם צריכים להתאים לציוד ייצור מוליכים למחצה, האורכים והמיקומים של קצוות המיקום הראשוניים, הראשוניים והמשניים קבועים.
בדרך כלל, אורך קצה המיקום הראשוני של רקיקת סיליקון 2-אינץ' הוא 15.8 מ"מ, אורך קצה המיקום הראשי של פרוסת סיליקון 4-אינץ' הוא 32.5 מ"מ, ואורך הפריסת הראשית קצה המיקום של רקיקת סיליקון 6-אינץ' הוא 57.5 מ"מ. אורך הקצה השטוח למיצוב המשני של רקיקת סיליקון 4-אינץ' הוא כ-18 מ"מ, ואורך הקצה השטוח המשני של פרוסת סיליקון 6-אינץ' הוא כ-22 מ"מ.